纺织学报 ›› 2009, Vol. 30 ›› Issue (07): 1-5.
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刘杰; 杨斌
LIU Jie; YANG Bin
摘要: 以In(NO3)38226;4.5H2O为主要原料,用乙酰丙酮作溶剂,掺加SnCl48226;5H2O(铟锡物质的量比为10:1)制得溶胶,以石英玻璃为基体用提拉法制得ITO膜,与已有制备方法相比,试样每次提拉后都经过500℃退火处理,循环5次。利用表面轮廓仪、原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪对所制样品的厚度、形貌结构和光电性能进行了测试表征。实验结果表明,制备的ITO膜导电性能好,在可见光范围内透光率高,电阻率约为5.625×10-3Ω8226;cm,透光率可达到90%~95%。
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